瑞士VAT真空閥47系列

以下是關于 瑞士VAT公司47系列高真空角閥 的詳細技術解析，涵蓋其型號分類、技術特點、選型指南及中國市場應用情況：

一、VAT 47系列產品定位

• 產品類型：氣動驅動高真空角閥（Angle Valve）

• 核心用途：

• 真空腔體的隔離與通氣控制

• 適用于半導體、光伏、真空鍍膜、科研設備等超高真空（UHV）場景

• 核心認證：

• 符合SEMI標準，漏率<1×10?? mbar·L/s

• 材料兼容性：316L不銹鋼、氟橡膠（FKM）或全金屬密封

二、型號命名規(guī)則（以VAT 47152-AA為例）

三、中國市場常用子型號對比

四、核心技術參數

1. 真空性能：

• 漏率：氟橡膠版<1×10?? mbar·L/s，金屬密封版<1×10?11 mbar·L/s

• 耐壓差：標準版1×10?? mbar至大氣壓（金屬密封版可達10?12 mbar）

2. 機械特性：

• 驅動方式：單/雙作用氣動（需0.4~0.6MPa壓縮空氣）

• 啟閉時間：<1秒（DN40以下規(guī)格）

• 循環(huán)壽命：>100萬次（金屬密封版>50萬次）

3. 環(huán)境適應性：

• 氟橡膠版耐溶劑性：兼容丙酮、酒精（不兼容強酸）

• 金屬密封版烘烤溫度：最高250°C（需選配高溫電磁閥）

五、選型關鍵步驟

1. 確定通徑：根據管道尺寸選擇DN16/DN40/DN63/DN160等

2. 選擇密封：

• 氟橡膠（AA）：成本低，適合一般真空（≤10?? mbar）

• 金屬密封（MM）：超高真空（≤10?11 mbar），耐高溫

3. 匹配法蘭：

• CF法蘭：超高真空標準（半導體行業(yè)）

• ISO-K法蘭：大流量應用（如鍍膜設備）

4. 驅動配置：

• 單作用（彈簧復位）：斷電自動關閉

• 雙作用：需雙向氣控，響應更快

六、安裝與維護要點

• 安裝規(guī)范：

• 閥體箭頭方向需與氣流方向一致

• 法蘭螺栓需對角逐步擰緊（扭矩參考VAT技術手冊）

• 維護建議：

• 氟橡膠密封圈每2年更換（頻繁使用工況）

• 金屬密封閥每5年做氦質譜檢漏

七、典型故障處理

八、中國市場的替代方案

1. 國產替代：

• 北京中科科儀 ZK系列角閥（DN16~DN200，漏率<5×10?? mbar·L/s）

2. 日系品牌：

• SMC VXH系列（適用于中低真空，性價比高）

• 交貨周期：常規(guī)型號庫存2-4周，定制閥體需8-12周

瑞士VAT真空閥47系列